化學元素手冊·氮·(35)三氟化氮

I.概況

化學式：NF3。

CAS登記號：7783542。

摩爾質量(g/mol)：71.002。

II.物理性質

顏色：無色。

性狀：氣體。

熔點(℃)：207。

沸點(℃)：129。

密度(kg/m3)：3.1(g)。

III.元素分析與氧化數

IV.合成

可由電解熔融的NH4F·HF制備，也可由氨和氟作用而得。

4NH3 + 3F2 —Cu→ NF3 + 3NH4F

V.化學性質

三氟化氮比較穩定，在常溫下不與水、稀酸、稀堿作用。三氟化氮似乎不具有堿性。三氟化氮通常在250~300℃時才表現出它的活潑型，但在70℃時就能與三氯化鋁徐蘇反應。

2NF3 + 2AlCl3 —→ N2 + 3Cl2 + 2AlF3

三氟化氮與水蒸氣、氫氣、氨氣、一氧化碳或硫化氫等的混合氣體，遇到火花即發生猛烈的爆炸。如：

2NF3 + 3H2O —火花→ 6HF + NO + NO2

VI.用途

氟化氫激光器的氧化劑。

半導體、液晶和薄膜太陽能電池生產過程中的蝕刻劑。

半導體及TFT-LCD制造的薄膜制程中的清潔劑。

·曾被用作火箭燃料。

VII.固態結構

氮的成鍵構型：3配位；三角錐。

晶體結構類型：無數據。

VIII.生物作用

三氟化氮屬於溫室氣體，能加劇溫室效應。

IX.同位素分析

如下所示為經計算得出的這種化合物的同位素圖樣分析。其中以最多的組份為100%。

化學式：NF3